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電容式位移傳感器探頭精準測量的“雙引擎”驅動
2025-12-13

在半導體晶圓加工、精密機床主軸跳動檢測、航空航天部件形變監測等高精度制造場景中,位移測量的精度直接決定產品良率與設備穩定性。Microsense作為電容式位移傳感器品牌,通過被動式與主動式兩大探頭技術路線,構建起從亞納米級到毫米級、從靜態定...

  • 2023-02-17

    納米壓印光刻系統制造商SwissLithoAG今天宣布一種聯合解決方案,可以生產最小到單納米級的3D結構。該方案最初在由歐盟第七框架計劃資助的“超越CMOS器件的單納米制造(SNM)”項目中得到證明,該方案涉及SwissLitho的新型NanoFrazor熱掃描探針光刻系統,以生產具有3D結構的主模板用于納米壓印光刻系統和EVG。目標應用:EVG和SwissLitho最初將以聯合解決方案為目標,以開發衍射光學元件和其他相關光學組件,以支持光子學,數據通信,增強/虛擬現實和其他...

  • 2023-02-16

    光刻技術是將二維圖案轉印到平坦基板上的方法。可以通過以下兩種基本方法來實現圖案化:直接寫入圖案,或通過掩模版/印章轉移圖案。設定的圖案可以幫助生成襯底上的特征,或者可以由沉積的圖案形成特征。通過計算機輔助設計(CAD)定義圖案模式。多數情況下,這些特征是使用抗蝕劑形成的,可以使用光(使用光致抗蝕劑),電子束(使用電子束抗蝕劑)或通過物理壓印(不需要抗蝕劑,也叫納米壓印)來定義圖案特征。圖案的特征可以被轉移到一個基板,再進行蝕刻,電鍍或剝離。1.技術領域根據所需的特征,有幾種不...

  • 2023-02-15

    Microsense電容式位移傳感器提供高穩定性和線性方案、高分辨率、高帶寬測量方案,用于測量硬盤驅動馬達,氣動軸承轉子,X-Y樣品臺準確度,光盤,汽車零部件和機床等測量。它的用途廣泛:金屬薄片厚度測量,振動測量,工作臺垂直度和平坦度測量,精密馬達轉軸偏振測量,精密儀器工作平臺定位,設備自動聚焦測量(微影設備、原子力顯微鏡、光罩探測、圖像確認、LCD生產設備…)它的安裝難度:它是易于安裝的Microsense電容式位移傳感器。MicroSense的電容式位移傳感器使用單個傳感...

  • 2023-02-14

    光學膜厚儀的薄膜光譜反射系統,可以很簡單快速地獲得薄膜的厚度及nk,采用r-θ極坐標移動平臺,可以在幾秒鐘的時間內快速的定位所需測試的點并測試厚度,可隨意選擇一種或極坐標形、或方形、或線性的圖形模式,也可以編輯自己需要的測試點。針對不同的晶圓尺寸,盒對盒系統可以很容易的自動轉換,匹配當前盒子的尺寸。49點的分布圖測量只需耗時約45秒。用激光粒度分布儀測試膠體的粒度分布時應配合其它檢測手段驗證測試結果的準確性,同時應使用去離子水作為分散介質,防止自來水中的電解質造成顆粒團聚影響...

  • 2023-02-08

    Microsense電容式位移傳感器具有一般非接觸式儀器所共有的非接觸式特點外,還具有信噪比高,靈敏度高,零漂小,頻響寬,非線性小,精度穩定性好,抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優點。目前,Microsense電容式位移傳感器在國內研究所,高等院校、工廠等部門得到廣泛應用,成為科研、教學和生產中一種不能缺少的測試儀器。Microsense電容式位移傳感器的分類簡介:1、被動式:被動式位移傳感器為一種非接觸式精密位置傳感器。基于追求最佳的線性和穩定性而設計,其測量帶寬高達20千...

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